Honeywell霍尼韋爾流量傳感器HAF系列 - 高流量，補償式。±50 SCCM 至 ±750 SCCM - 模擬或數字輸出。10 SLPM 至 300 SLPM - 數字輸出

Honeywell高流量傳感器HAF系列產品簡介如下：
霍尼韋爾 Zephyr™ HAF 系列傳感器為滿量程流量范圍及溫度補償范圍內讀取氣流數據提供一個數字界面。隔熱加熱器和溫度感應元件可幫助傳感器對空氣流或其他氣流做出快速響應。

Zephyr 傳感器旨在測量空氣和其他無腐蝕性氣體的質量流量。

10 SLPM 至 300 SLPM
標準流量范圍為 10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM 或 300 SLPM，另具可定制化的流量范圍供您選擇。這些傳感器利用電路板上的專用集成電路 (ASIC) 進行全面的校準和溫度補償。

大于 10 SLPM 的 HAF 系列在經校準的 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] 的溫度范圍內進行補償。基于 ASIC 的補償能實現數字 (I2C) 輸出和 1 ms 的響應時間。

±50 SCCM 至 ±750 SCCM
標準流量范圍可在 ±50、±100、±200、±400 或 ±750 SCCM 下使用。還提供自定義流量范圍。這些傳感器利用電路板上的專用集成電路 (ASIC) 進行全面的校準和溫度補償。

HAF系列可以對0°C 至50 °C [32°F 至 122°F] 的溫度范圍做出補償，并且可以在 -20C 至70°C [-4°F 至 158°F] 的溫度范圍中工作。基于 ASIC 的補償能實現數字 (I2C) 輸出和 1 ms 的響應時間。

這些傳感器根據熱傳遞原理測量氣流的質量流量。它們由含有熱電阻微橋的微機電傳感系統 (MEMS) 組成，薄膜鉑電阻沉積于氮化硅薄膜上。MEMS 傳感芯片位于精密設計的氣流通道內，提供對于流量的可重復響應。

Zephyr 傳感器可以為客戶提供增強的可靠性、高準確度、可重復測量等性能，并且能夠定制傳感器以滿足許多具體的應用要求。堅固外殼和穩定基底相結合使得這些產品極其堅固耐用。它們的設計與制造符合 ISO 9001 標準。

Honeywell霍尼韋爾傳感器有以下幾類：氣流、電流、位移、動力、加熱器、時計、濕度、紅外、磁性、位置、壓力、近程和溫度。
電子傳感器檢測并測量溫度、壓力、觸力或加速度等物理現象，并提供相應輸出（通常以電子信號形式）。

所有氣體質量流量傳感器均通過熱交換運行——流動和壓差。硅芯片設計源自薄膜、隔熱橋結構，包含加熱和熱敏組件。這可以對空氣或氣體流量和方向作出快速響應，提供相應的輸出電壓。放大型能提供更強的輸出信號和更少的外部電路，而未放大型可選擇更多的外部電路。

Honeywell高流量傳感器HAF系列基礎參數：

端口類型：
短
長接口

存儲溫度：-40°C 至 125°C [-40°F 至 251°F]

流量/壓力范圍：
0 SCCM 至 750 SCCM
0 SCCM 至 200 SCCM
0 SCCM 至 50 SCCM

響應時間：典型值 1 ms
補償溫度范圍：0°C 至 50°C [32°F 至 122°F]
信號調節： 放大
介質兼容性：僅干燥氣體

功耗：
最大 40 mW
最大 65 mW

共模壓力：最大 25 psi

電源電壓：
3.3 Vdc
5.0 Vdc

工作溫度：-20°C 至 70°C [-4°F 至 158°F]

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